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一、光学读数头和光学配套
光学读数头，是采用光学投影测量原理，配有标准刻线尺，测量定位读数。1966年，哈
量具刃具厂设计试制成功。它是为机床厂的精密机床设计的专、通用测量仪器。按测量值分
为0．001毫米光学读数头及0．01毫米光学读数头，供不同精度及方位的选择。
光学配套，是采用光学投影双线夹线读数原理，按精密机床的具体要求，而专门设计的
配套产品，在60年代，哈量具刃具厂先后为沈阳中捷友谊厂、汉中机床厂、青海机床厂等生
产了529台T4280、T4263等专用配套产品。为国内精密机床的生产做出了贡献。光学配套及
光学读数头的生产，为哈量具刃具厂光学投影技术的应用打下了基础。至1990年，生产光学
读数头3070台，光学配套529台。
二、1011型投影式光学分度头
1011型投影式光学分度头，是采用投影式光学测量原理而设计的大型精密角度测量仪器，
配上一定的附件又可测分度误差及各种凸轮升程误差。哈量具刃具厂于1963年设计、试制成
功。其测量精度分5″及2″两种。以后又试制出光栅分度头，使精度稳定在2″。
1011型投影式光学分度头的试制成功，推动了光学刻划技术、光学镀膜技术、机械加工
中的端面凸轮加工、精密轴承加工等光学加工技术的发展。从1963年投产后，一直畅销。至
1990年，生产643台。
三、平面度检查仪
平面度检查仪，是采用光学自准直原理，借助带磁性座的平面反射及光学直角器等附件
完成直线度、垂直度及平面度的误差的测量，适用于机床及仪器导轨的直线度及垂直度、平
板的平面度误差的测量。1960年哈量具刃具厂试制成功平面度检查仪。至1990年，生产2843
台。
四、读数显微镜
1959年，哈量具刃具厂试制成功万能工具显微镜1台，用于测量长度、角度及各种不同
截面形尺寸，也可测量螺纹铣刀、样板刀、齿轮刀具、凸轮样板、曲线形板、螺纹量规和其
它形状复杂的工具。
1963年，试制成功读数显微镜。它是采用显微光学系统及补偿透镜读数原理而设计的读
数装置。用于线纹尺的测量，轮廓的测量、机床或仪器的定位及进位读数，其精度为0．001
毫米。
1964年，试制成功光电显微镜，用于测量检定线纹尺和机床尺寸瞄准定位。1968年，试
制成功对刀显微镜。至1990年，生产275台。
五、丝锥前角和钻头刃磨检查仪
丝锥前角检查仪，是采用光学投影原理，对丝锥截面直接投影，变盘采用不等分刻度，
是为公制丝锥前角测量而设计的测量仪器。哈量具刃具厂于1965年试制成功，是工具厂必备
仪器，用于计量室及车间检查站。钻头刃磨检查仪，是采用光学显微镜原理，纵横向读数，
可测直柄、锥柄钻头的后角、钻尖角、切削刃的轴向跳动、横刃斜角、横刃对称度、钻心对
称度、切削刃的不直度及钻心直径等钻头参数。至1990年，生产丝锥前角检查仪114台，钻
头刃磨检查仪10台。
六、千分尺量面平行性检查仪
千分尺量面平行性检查仪，是为解决千分尺两个测量面的平行性而设计制造的专用量仪。
哈量具刃具厂采用光学自准直原理，完成光路设计到机械设计，1983年试制成功。此产品适
用于工具厂。至1990年，生产10台。
七、数显分度头
数显分度头，采用高精度回转主轴系统，以精密光栅盘做测量基准，并采用光电转换、
数字电路、液压锁紧机构和微机控制系统，比原来的机械投影式光学分度头精度更高、更稳
定，可以取代2″光学分度头。哈量具刃具厂于1967年试制成功。此产品只生产3台。
八、半自动光刻机
半自动光刻机，是半导体制造行业制造大规模集成电路必备的光刻复制设备。
1978年，哈量具刃具厂在中国科学院109厂、阿继厂合作下开始设计，1980年，试制出
第一台半自动接触式光刻机。该机的诞生，受到国家科委的重视，并力主将光刻机由接触式
升级到接近式。参加设计试制工作的科技人员李立人，原锡铎等又经一年时间的努力，于19
81年试制出接触接近式光刻机样机，1982年获机械部科技成果一等奖，1983年获国家科委“
金龙奖”。半自动光刻机的研制成功，打破了国际上对中国在光刻设备技术上的封锁，为国
争光，取得良好的社会效益。
半自动光刻机，是集光、机、电、气于一体的高科技产品。随着国际封锁的打破，国外
生产的光刻机涌向国内市场，要求国产光刻机必须改型。1985年，由机械部仪表局主持，哈
量具刃具厂与阿继厂的工程技术人员联合研制微机光刻机，使控制系统微机化。1987年，试
制成功，荣获省科技进步二等奖。已生产9台。
九、光学长度量仪
1958年，试制成功立式光学比较仪、卧式光学比较仪、立式测长仪，至1961年，生产16
2台。当年，又试制成功卧式测长仪。
1959年，试制成功接触式干涉比较仪，至1962年生产262台。1960年，试制成功一米测
长机。1967年，试制成功万能比较仪。这些量仪的生产，为国内机械行业计量部门和企业，
提供精密光学长度量仪。至1990年，生产526台。
十、激光干涉仪
激光干涉仪，是一种用途极其广泛的量仪。它作为一个激光测长系统可以配置于任何需
要精密测长的设备上，用于检测诸如线纹尺、量块、丝杠、量杠、集成电路等，又特别适合
于检测精密机床或座标测量机的定位精度，对于大型机床感应同步器测量装置的接点和检定
是一种必备的量仪，最高分辨率0．05毫米。1978年，研制成功。此产品生产4台。
哈量具刃具厂除生产上述各种光学仪器外，还设计生产了光洁度显微镜、光学测角仪、
光电显微镜、万能测长仪、圆度仪、刻划用对刀显微镜、深孔测长仪等。 |
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