第三篇 敏感技术产品 第一章 敏感器件 第三节 力敏器件 1976年,哈尔滨通江晶体管厂开始试制LM型硅扩散力敏应变片。这是一种新型的敏感 器件,研制人员应用半导体压阻效应,以集成电路工艺,在单晶片上沿确定的晶向和规定 尺寸扩散两个应变电阻,制成力—电转换器件。1979年,LM型硅扩散力敏应变片试制成功。 10月6日,通过设计和生产定型。 LM型硅扩散力敏应变片具有体积小、灵敏度高、同一应变片两电阻灵敏系数及阻值温 度系数一致性好、阻值选用范围宽、价格便宜等特点。在国防、军工、科研和工业自动化 控制等方面,得到广泛应用,是国内首次定型生产的产品。1979—1990年累计生产1万只, 产值30万元,利润2万余元。 |
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